12"(300mm) 대형 웨이퍼 대응

주요 특징

• 6", 8", 12"의 웨이퍼 측정을 동시에 지원하고 버튼 하나로 세 가지 크기의 진공 척을 자동 전환.

• 연삭 후 박판의 조도를 자동으로 측정.

• 하나의 키로 수십 개의 작은 영역의 조도를 측정하여 평균 값을 얻을 수 있음.

• 스크라이빙 공정에서 레이저 홈 가공 후 홈 깊이 및 너비 프로파일 데이터를 측정.

• 원 클릭으로 홈의 깊이 및 너비와 관련된 표면 및 여러 프로파일 라인의 데이터 측정 및 분석

• 웨이퍼 제조 공정에서 코팅 단차의 높이를 측정할 수 있으며 측정 범위는 1nm ~ 1mm로 고 정밀 측정이 가능.

사   양​

W3

측정 범위 : 300x300mm

광원 : 백색 / 녹색 LED

대물렌즈 : 10x (옵션 : 2.5x, 5x, 20x, 50x, 100x)

광학 줌 : 0.5x (0.75x, 1x)

비디오 시스템 : 1024×1024

표준 시야 : 0.98×0.98 mm

대물렌즈 회전 대 : 3-구 전동 제어

소프트웨어 : Xtreme Vision 3D

수평 조절 장치 : ±5° 수동

Z축 이동 범위  : 100mm 전동

Z축 스캔 범위 : 10mm

Z축 스캔 속도 : 45μm/s

Z축 해상도 : 0.1nm

수평 해상도 (x,y) : 0.1μm

샘플 반사 율 : 0.05%~100%

단차 측정 : 정확도 : 0.3%,  반복성 0.08% 1σ

거칠기RMS반복성 : 0.005nm

적재 하중 : 10Kg

설치 환경 : 강한 자기장 및 부식 성 가스 없는 곳

                  : 환경 진동 : VC-C 이상

                  : 작동 온도 : 15°C~30°C, 온도 변화 < 1°C/15분

                  : 공압 : 0.6Mpa , 직경 6mm

                  : 상대 습도 : 5%-95%RH, 무 결로

                  : 전원 공급 장치 : 330W