"U-200" 최대 8" 웨이퍼 및 프레임 UV 경화 시스템

U-200 UV 큐링 시스템경화 시스템은 최대 8"의 웨이퍼와 프레임을 경화하도록 제작되었습니다. LED는 최대 750mW의 광 출력으로 365nm의 파장을 생성합니다.
UV Curing System은 사이즈별로 200 / 300 / 450 / 555 모델로 구별됩니다.

주요 특징들

낮은 조달 비용 = 최저 총 소유 비용(COO)!
유해한 오존 발생 없음
제로 워밍업 시간
UV - LED 의 긴 수명 ( 10,000 시간 이상)
낮은 강도 강하 ( 10,000 시간에 5%)
필름 에 열 영향 없음
컴팩트하고 견고한 테이블 디자인
짧은 설치 및 구현 시간
낮은 유지 보수 비용
IEC 204-1 안전 표준 준수
생산성 130-180 웨이퍼 /시간 .

경화 시간/처리량

- 완전히 조정 가능한 경화 시간 범위는 15초 ~ 80초.
- 일반적인 처리량 45-240 wafer/hour (UV 테이프 유형에 따라 다름)
- 요청 시 매거진에서 매거진으로 자동화

	U200	U300
Wide	400 mm	460 mm
Height	170 mm	170 mm
Length	695 mm	1,000 mm
Weigh	18 kg	35 kg
Wafer-Size	up to 8"	up to 300 mm
Frame Size	up to 8"	up to 300 mm
Main Power	110 - 220 VAC, 50/60Hz
Power consumtion approx.	120 W	180 W
Wavelength	365 nm +/- 3 nm
Optical Power output max.	750 mW
Dose (depend on conveyor speed)	up to 1200 mJ/cm2
Number of installed high power UV LED's	48	72

Option

질소 샤워
크린룸에 적합한 서포트 테이블