4탐침 프로브(포포인트프로브/4 point probe)

특징

* 직렬 4 탐침법을 이용하여 실리콘 웨이퍼, 태양전지, ITO 박막 등의 시트 저항값·부피 저항률 측정.

* 최대 12인치까지 대응하는 장비구비, 측정하는 시료 사이즈에 맞추어 최적의 스테이지 선택가능.

* 전용 소프트웨어가 시트 저항·부피 저항률을 JIS 준거의 계산식으로 자동적으로 산출하므로

웨이퍼 면내 복수점의 데이터 수집도 용이하게 실시

* KEITHLEY 2401형 소스 미터를 표준 측정기로 준비

* 측정 전용 소프트웨어와 함께 사용하면 부드럽고 고정밀한 시트 저항 및 부피 저항률 측정 가능.

* 프로브 헤드는 NIST(미 국립표준기술연구소) 트레이서블한 교정용 시료를 이용해 출하전 검사 실시

* 프로브 침의 재질은 텅스텐 카바이드, 오스뮴 합금, 금도금 베릴륨 구리의 3종류로, 시료에 맞게 선택가능