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모델명

제품분류 부품/소재

업체명 (주)에이케이테크

전화번호 0504-0668-1845

등록일 24.06.18

Auto Gate Valve-WITH CONTROLLER

** Application

- Etcher
- CVD(Mo, LP, HDP, PE)
- Sputter
- R.T.P
- LCD, PDP Systems
- Other Vacuum System

** Features

- 2Step(soft & fast) pumping
- Particle – Free
- Vibration – Free
- Pneumatic Actuator
- Fast valve welded bellows (AM350)
- Easy to service

** Options

- Various o-ring compounds (Kalrez®,Chemraz®, etc.)
- Bellows Material (SS316L , Inconel )