상세설명
반도체, LED, OLED, LCD 등 제조공정에서 발생하는 유해가스를
습식처리 방식으로 배출하여 제조현장에 깨끗한 환경을 제공하는 장비
Feature
- 1. 2개의 포장된 스크러버 구역
- - 2개의 패킹된 스크러버 구역 구성 및 각 구역별 별도 순환으로 저감효율 높음
- - 저감효율 : ≤ 90%
- 2. Compact한 설계로 Footprint 절감
- 3. 물 소비 감소
- 4. 일반 및 유휴 모드로 물 유량 제어
- 5. 펌프 및 중력 배수
- 6. 오토 댐퍼에 의한 바이패스 기능
Application
- - 반도체, LED, OLED, LCD 제조공정
