상세설명
Equipment Fan Filter Unit (EFU)제품정보반도체, FPD 생산설비 상부 또는 측면에 설치
장비 내부의 압력 압력 유지 및 청정한 공기 공급
장비내부 청정도 유지 기능적용분야ICR클린룸 , ME장비, 챔버
Equipment Fan Filter Unit (EFU)제품정보반도체, FPD 생산설비 상부 또는 측면에 설치
장비 내부의 압력 압력 유지 및 청정한 공기 공급
장비내부 청정도 유지 기능적용분야ICR클린룸 , ME장비, 챔버