상세설명
고내압·내약품성이 뛰어나 금속 오염을 받지 않는 특수 Carbon 전극을 적용하여 여러가지 약액의 도전율을 측정합니다. 반도체 세정 프로세스 중의 농도 관리나 약액의 희석관리 또는 DI Water의 리사이클 감시 등 폭넓게 사용할 수 있습니다.- 반도체 Wet 프로세스의 약액 측정이나 DI Water 회수에 위력을 발휘- 온도 측정·동시 표시 기능을 탑재- 측정치와 파라미터 설정치를 동시 표시- 풍부한 온도 보상 기능을 내장- 알기 쉬운 아이콘 표시와 만전을 기한 Security 기능- CE마크 대응
| 측정 범위 | 2 전극 방식 | |
|---|---|---|
| 온도 센서 사양 | 백금온도측정저항체 1000/0℃내장 | 온도 계수 3850ppm/℃ 표준 | |
| 측정 범위 | 셀정수 | 0.1/cm(ESH-01시리즈) |
| 측정 범위 | µS/cm : 20.00/200.0 | mS/m : 2.000/20.00 | |
| 온도 | 0~100℃(소수점 이하 2자리수까지 선택 표시 가능) | |
| 반복성 | Full Scale의 ±0.5%(TDS환산표시는 Full Scale±1.5%) | |
| 직선성 | Full Scale의 ±0.5%(TDS환산표시는 Full Scale±1.5%) | |
