상세설명
DI Water의 온도 특성을 기초로 마이크로 프로세서가 온도 보상 계수를 연산해 25℃ 기준의 비저항으로 자동 환산됩니다.
프로세스 중의 DI Water를 고정밀도로 측정합니다.
또한 0~100℃의 범위에서 고정밀도의 온도 보상을 실현하여, Wafer의 최종 세정액으로서 빠트릴 수 없는 DI Water의 엄격한 순도감시를 할 수 있습니다.- 최종 린스 공정의 DI Water 비저항 감시에 최적- 풍부한 온도 보상 기능 내장- 기준 온도 임의 설정 기능 채용- 측정치와 파라미터 설정치를 동시 표시- 알기 쉬운 아이콘 표시와 만전을 기한 Security 기능- CE마크 대응
| 정 방식 | 2 전극 방식 | |
|---|---|---|
| 셀 정수 | 0.1/cm | |
| 온도 센서 사양 | 백금온도측정저항체 1000Ω/0℃ 내장 | 온도 계수3850ppm/℃ 표준 | |
| 측정 범위 | 비저항 | 0~0.200, 0~2.00, 0~20.00, 0~100.0MΩ·cm(0~2.00, 0~20.0, 0~200.0, 0~1000kΩ·m)
* 100.0MΩ·cm, 1000kΩ·m의 범위는 온도 보상없이 측정 가능
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| 온도 | 0~100℃(소수점 이하 2자리수까지 선택 표시 가능) | |
| 반복성 | Full Scale ±0.5% | |
| 직선성 | Full Scale ±0.5% | |
