상세설명
전자 유도 방식 도전율계를 채용하여 불산 농도를 고정밀도로 측정하고 실시간으로 표시해 저농도 영역에서도 높은 재현성 정밀도를 실현, 에칭을 포함한 웨이퍼의 세정 공정에 있어서의 불산 관리를 포함하여 여러가지 산업분야에 폭넓게 대응합니다.
| 측정 대상 | 불화수소산(불산) |
|---|---|
| 측정 원리 | 전자 유도형 도전율 측정 방식 |
| 측정 범위 | HF 0~1/2/5/10/20/50%, 0~100/200/500/1000mS/cm |
| 재현성 | F.S±2% |
| 응답성 | 90% 응답 5초 이내(동일 온도 조건에서) |
| 센서 종류 | 침적형(CM-200A)과 유통형(CM-210A)으로 분리 |
