상세설명
약액 농도 모니터 CS-700 시리즈는 반도체 제조 공정에서 사용되는
혼합액의 각 성분농도를 고정밀도로 측정합니다.
HORIBA 단독의 광학 시스템을 개량하여 혼산중의 성분농도에 대해 종래 대비 약 5배의 고정밀도 측정을 실현
했습니다. 반도체 제조 공정의 품질관리 강화나 약액 관리의 정밀도 향상에 공헌할 수 있습니다.- 복잡한 혼재된 산(Acid)성분을 측정하는데 최적 (BEOL향 약액)- 종래 대비 정밀도 5배 향상- 최대 8성분을 실시간으로 고정밀도 측정- CS-100 Series의 기본 기능과 구조를 유지
