상세설명
HJS 의 HYZEN MAX는 반도체 , FPD 세정 공정에 사용되는 수소수를 제조, 공급하는 시스템입니다. 시스템 내부에서 자체 생성한 수소가스를 초순수에 용해 시켜 수소수를 제조 합니다. HYZEN MAX는 뛰어난 PARTICLE 제거 성능을 보여주며 SC-1 대체 등 약품 세정을 대체할 수 있는 친환경 시스템 입니다. HYZEN MAX는 반도체 , FPD 세정 공정 용으로 다양한 고객사와 세정 장비사의 다수의 납입 실적을 보유 하고 있습니다.
특징
- 독자적인 기술로 안정적인 수소수 및 암모니아 농도 제어
- 반도체, FPD 세정 공정에 적합한 고순도 오존수 제조,공급
- 초음파 진동등의 물리력과 조합하여 Particle 제거
- 암모니아 첨가 기능으로 수소수 PH를 조절하여
Particle 재흡착 방지 - 잉여 수소 가스를 발생시키지 않는 기술과 안전 대책으로
충분한 안전성 확보 - MAINTENANCE의 간소화 및 유지 보수 비용 절감 실현
| Model | HHW-1225N | HHW-1260N |
| 수소수 농도 (ppm) | 1.0 ~ 1.6 ppm | 1.0 ~ 1.6 ppm |
| 오존수 유량 (L/min) | 10 ~ 30 L/min | 10 ~ 60 L/min |
| 암모니아 농도 | 5 ~ 100 mg/L | 5 ~ 100 mg/L |
| 접액부 재질 | 액체 : PFA, PTFE, PP | 액체 : PFA, PTFE, PP |
| 가스 : SUS316L, PFA, PP | 가스 : SUS316L, PFA, PP | |
| 장비 외형 (mm) | 810(W) x 980(D) x 1970(H) | 840(W) x 1130(D) x 2010(H) |
