상세설명
순환방식 오존수 공급장치는 Use Point에서 사용되지 않은 오존수를 회수하여 다시 사용하는 방식으로, 안정적인 오존수 농도와 유량을 제공하면서도 초순수 사용량 및 폐수량을 최소화 할 수 있는 친환경적 오존수 공급장치입니다.
| Model | HOC-11M | HOC-33M |
| 오존수 농도 (ppm) | 5~60ppm | 5~70ppm |
| 오존수 유량 (L/min) | 10~20L/min | 10~40L/min |
| 원료 가스 | 고순도 산소 (99.9% 이상) | |
| 접액부 재질 | 액체 : PFA, PTFE, ECTFE | |
| 가스 : SUS 316L, Quartz, PFA, PTFE | ||
| 장비 외형 (mm) | 840(W) x 1130(D) x 2010(H) | |
