상세설명
일반형 오존수 공급장치는 세정장치에 안정적인 오존수 농도와
유량을 제공하기 위해 One Pass 방식으로 오존수를 공급하는 장치로,
60L/min 이하 유량의 Standard Flow Model과 140L/min까지 대응 가능한
High Flow Model을 보유하고 있습니다.
| Model | STANDARD FLOW MODEL | HIGH FLOW MODEL | ||||
| HO-11M | HO-33M | HO-64M | HO-9C | HO-12C | ||
| 오존수 농도 (ppm) | 5~50ppm | 5~60ppm | 5~60ppm | 5~40ppm | 5~40ppm | |
| 오존수 유량 (L/min) | 5~20L/min | 5~40L/min | 10~60L/min | 40~100L/min | 60~140L/min | |
| 원료 가스 | 고순도 산소 (99.9% 이상) | 고순도 산소 (99.9% 이상) | ||||
| 접액부 재질 | 액체 : PFA, PTFE, ECTFE | 액체 : PFA, PTFE, ECTFE | ||||
| 가스 : SUS 316L, Quartz, PFA, PTFE | 가스 : SUS 316L, PFA, PTFE | |||||
| 장비 외형 (mm) | 830(W) x 780(D) x 1875(H) | 1145(W) x 1050(D) x 1975(H) | 1200(W) x 1200(D) x 2000(H) | 1200(W) x 1500(D) x 2000(H) | ||
