NANOMEZ™ - 3500F

Fully Automatic WLI 3D Profilometer 

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• NANOMEZ™–3500F는 가장 진보된 비접촉식 3D 프로필로메트리 기술인 WLI(백색광 간섭계) 기술을 기반으로 1nm에서 10nm 높이의 패턴을 정밀하게 분석하여 빠르고 정확하고 높은 검출력으로 나노 단위 표면 형상을 측정합니다. 특히 첨단 패키징 (WLP, TSV, FOUT, PLP) 공정의 마이크로 CD측정과 같은 3D 지형 및 구조 분석을 위한 탁월한 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 검증된 안정적인 자동화 플랫폼을 갖춘 NANOMEZ™– 3500F는 프로그래밍 가능한 무제한 측정 레시피 기반의 원격 인라인 측정을 수행 하며, 다양한 제조 현장의 특성을 자동화 수요를 반영하여 고급 크린룸 웨이퍼 이송 시스템(EFEM)과 맞춤형 자동화 솔루션을 제공해 드립니다.  ​

• 응용 분야 

  •3D surface profiling

  •Dimensional analysis

  •Stress measurement

  •Roughness

  •Surface 3D texture

  •Particle measurement

  •Step heights

  •Flatness or curvature measurement

   

  특장점

  •Height resolution, 0.1nm

  •The same resolution for different object lenses

  •Capable of nano-level measurement

  •High speed, High accuracy, 

     High resolution surface 3D topography measurement

  •Excellent measurement performance for 

     the transparent / semi-transparent / milky colored samples

  •Non-contact methods without any pre-works for samples

  •High accuracy of repeatability, 

     accuracy and reproductivity

  •Height, Step height, Depth,  Line, Circle, Round, 

     Angle, Width, Distance Measurement

  •Roughness of line, FOV, measurement of waveform

  •Scratch, abrasion and defects analysis

  •Area, volume measurement

  •200/ 300mm wafer 3D & CD metrology system 

  •Clean room FOUB capability

  •High resolution XY-stage linear stage

  •Ultimate positioning accuracy with vision PRS

  •Automatic measurement from 

     loading-measurement-to unloading

  •Programmed recipe sites measurement systems 

  •Easy & convenient recipe creation

  •Recipe call to perform automatic measurement

  •SPC of Min, Max, Avg., Range, Std. Dev. 

  •Data display and 2D, 3D output graphic

  •Data save & exporting to CSV (Excel)

  •Network ready PC