FILCON™-80PM은 Photo mask 박막 두께와 두께의 균일성을 측정하기 위한 박막 측정 계측 설비 입니다. Dual SMIF 로드포트와 고성능 웨이퍼 트랜스퍼 로봇 기반의 EFEM 통합 전자동 박막 측정 장비로, 높은 측정 정밀도로 도포된 PR의 두께를 고속으로 측정 할 수 있는 전자동 인라인 리플렉토메터 입니다. KOVIS가 개발한 Metrology software는 mapping 레시피를 간편하게 작성하여 on-line로딩 할 수 있으며, 측정 결과는 측정값과 함께 2D, 3D 그래픽디스플레이로 분석할 수 있으며, 연동된 MES / SECS / GEM통신으로 측정 Data를 송출해 줍니다.

응용 분야 

•반도체 박막 : PR/ PI/ Oxide/ Nitride CMP/ SOC /PBO

•디스플레이  : OLED/ LCD/ Glass/ ITO/ TCO

•Optical Coating : 

   Hard coating/ ARC/ Perylene/ Medical Devices

특장점

•빠른 측정을 보장하는 어레이 기반 검출기 시스템

•필름 두께 및 굴절률을 최대 5개 레이어까지 매핑

•시스템은 포괄적 인 광학 상수 데이터베이스 및 

    라이브러리와 함께 제공됩니다.

•일반적으로 사용되는 레시피 포함

•고급 소프트웨어를 통해 사용자는 각 필름에 대해 NK 테이블,

   분산 또는 EMA (유효 매체 근사치)를 사용할 수 있습니다.

•두께가 다른 다양한 유형의 기판에 적용

•2D및3D 출력 그래픽과 통계 결과가 포함 된 사용자 친화적 인 

   데이터 관리 인터페이스

•CSV 파일 형식으로 매핑 된 결과 출력

•시스템에 포함 된 긴 수명 램프

•모든 USB 통신 및 PC 제어

•컴퓨터 요구 사항 : Intel i3, 23형 LCD 모니터 또는  

   노트북 컴퓨터 (주문시 선호 사항 지정)

•시스템은 특정 애플리케이션을 충족하기 위해 견적 당 
   지정된 파장 범위 내에서 구성됩니다.