FILCON™ - SR 30Vision  

자동 맵핑 리플렉토메타 
(Spectroscopic Reflectometer)

• 300mm wafer 박막을 간편하게 측정할 수 있는 Y-Theta motor stage구조의 자동 mapping 정밀 분광 반사 계측 리플렉토메타 입니다.  간편하게 작성한 mapping recipe를 불러와서 박막 두께, 반사도, 투과도를 측정 할 수 있습니다. 더욱 정밀한 목표 타겟 측정을 위하여 광학계 상부에 설치된 카메라 이미지를 보면서 박막의 두께를 측정 할 수 있으며 이미지 상의 간단한 XY 치수 측정도 가능 합니다. 광학 스코프 구조의 프루브 헤드는 20um이하의 micro spot으로 정밀한 국소 영역 측정을 가능 하게 하며, 측정 결과는 2D/ 3D 그래픽으로 보여지며, CSV, PDF 형태의 report로 출력 할 수 있습니다.  

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  응용 분야 

  •반도체 박막 : PR / PI/ Oxide / Nitride / CMP / SOC /PBO

  •디스플레이 : OLED / LCD / Glass / ITO / TCO Optical 

  •Coating : Hard coating  / ARC / Perylene / Medical Devices

   

  특장점

  •고정밀 분광 반사계(Spectroscopic Reflectometer)

  •일체형 All-in-one system : 

      PC, Monitor, SR Controller와 Light source일체형

  •R-theta auto-mapping,

      Z-axis auto-focus기능으로 더욱 정밀한 측정가능

  •Digital Camera (x5배율 eyepiece에 장착하여) 

     대상 지점을 보면서 박막 측정

  •Excel, PDF format report 출력 기능

  •Option에 따라 1nm~1000㎛의 투명 박막의 

     두께 / 반사율 / 투과율 측정

  •Excel, PDF Report기능

  •Fitting을 위한 Starting Value없이 측정 가능

  •초박막이나 두꺼운 layer측정을 위한 멀티 두께 측정 기능

  •재질에 민감하지 않은 0° 입사각

  •Ellipsometer와 호환되는 다양한 n, k 파일 라이브러리 기본 제공