TTMS(Tunable Termination Matching System, 튜너블 터미네이션 매칭 시스템)

TTMS는 가변 커패시터를 플라즈마 설비 하부의 RF 접지에 직렬로 연결하여 설비 내부의 플라즈마에 영향을 주어 공정을 제어하는 기술입니다.

RFPT의 TTMS는 최신 RF 전력 반도체 기술과 뛰어난 작동 기능을 제공하여 최첨단 제품을 제공합니다. TTMS 회로를 보호하기 위해 안전 눈이라는 온도 센서를 적용하고 통신을 위해 9핀 D-SUB 인터페이스도 적용했습니다. 증착, 에칭, 클리닝, Asher, 대기압 및 스퍼터 시스템과 같은 다양한 방식으로 사용됩니다.

표준 사양(TTMS)

• 사양

  주파수 : 27.12MHz (모든 주파수 사용 가능)

  최대 전력 : 400V rms, 20Arms @ 27.12MHz

  커패시터 위치 반복성 : > +/- 0.5 ohm, 위치 50 % 반복성 테스트

  입력 커넥터 : TBD(커스터마이징)

  인터록/알람 : 인터록 리미트 스위치 위치 : DC 입력 포트

  치수 : TBD

 

• 아니요

  D/R 및 스트레스 마이크로 공정 관리

  VHF 챔버의 균일성 향상

  GND를 위한 제어 가능한 RF 임피던스

  임피던스 허용 오차 ±TTTM의 경우 0.24 %

  VIPS승