Xpider 시리즈 RF 매처

RFPT 설계 팀은 해당 고객을 위해 특정 매치 설계 도구를 사용합니다. 요구 사항 및 글로벌 안전 표준.

Match Simulator는 Python을 기반으로 하는 RFPT 소유 RF 네트워크 시뮬레이션 도구입니다 스크립트. 모든 구성 요소 및 노드의 RF 응력을 시뮬레이션할 수 있습니다. 튜닝 범위. 최소 연면 거리 및 간극 거리 계산 가능 글로벌 표준에 따라. 다음과 같은 다양한 방식으로 사용됩니다. 증착, 에칭, 세정, Asher, 대기압 및 스퍼터 시스템

• 광대역 LDMOS 기술을 사용한 초강력 견고성

  전원 모드(전달/전달)

  DSP 제어 기술

  안정적인 출력(밸런스드 앰프)

  CEX / 위상 시프터 옵션

  주파수 변조

  펄스 변조

  표준 사양

  • 고속 튜닝 시간–임피던스 예측 알고리즘

     < 1초 @ 프리셋

     < 5초 @

     50% 부하/50% 튜닝 위치의 모든 위치

   

  • 인터페이스	RS-232C : 9핀 D-Sub, 암
    주변 작동 온도	10°C에 + 40°C
    출력 감지 : V, I
    선택	- RF VIZ 출력 센서(옵션) : V, I 및 위상
    	- 옵션 : VDC

  높은 위치 반복성 – 3200/revolution 고해상도 엔코더

   위치 반복성 : < 0.1 % @ 6 sigma

  높은 정확도 – 3X 센서(차세대... RF VIZ 기술 노트**1)

   0.5% 반사 전력 @ 순방향 전력