상세설명
RF 발생기
RF 전력 솔루션의 글로벌 공급업체.
플라즈마 응용 분야를 위한 RF 발생기 및 매칭 장치 제공.
RFPT의 RF 전원 공급 장치는 최신 RF 전력 반도체 기술과 뛰어난 작동 기능을 제공하여 첨단 제품을 제공합니다.
증폭기 보호를 위해 RF 전원 공급 장치는 온도 센서, 반사 전력 제한, 빠른 반사 전력 제한, 전력 손실 제한, 전류 제한 회로로 설계되었습니다. 증착, 에칭, 클리닝, Asher, 대기압 및 스퍼터 시스템과 같은 다양한 방식으로 사용됩니다.
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#13.56MHz RF 발생기
전원 출력 : 300w에 6kw
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#2MHz RF 발생기
전원 출력 : 1kw to 5kw
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#27.12MHz RF 발생기
전원 출력 : 1kw to 5kw
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#400kHz LF 발생기
전원 출력 : 400w to 1.5kw
- 기능
- 응용 프로그램
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광대역 LDMOS 기술을 사용한 초강력 견고성
전원 모드(전달/전달)
DSP 제어 기술
안정적인 출력(밸런스드 앰프)
CEX / 위상 시프터(옵션)
주파수 및 펄스 변조
경쟁력있는 가격과 사용하기 쉬운
사양 (모든 모델)
주파수 : 13.56MHz RF 발생기
| 부품 이름 | 렉시-1K | 렉시-1K5 | 렉시-3K | 렉시-6K |
|---|---|---|---|---|
| RF 전력 | 1000와트 | 1500와트 | 3000와트 | 6000와트 |
| 출력 범위 | 10W 내지 1000W | 15W 내지 1500W | 30W 내지 3000W | 60W 내지 6000W |
| 크기 | 483(W) x 500(L) x 132(H) | 483(W) x 500(L) x 132(H) | 483(W) x 500(L) x 132(H) | 483(W) x 600(L) x 177(H) |
| RF 출력 커넥터 | N형 암 | HN형 암 | HN형 암 | 7/16 DIN 형 암 |
| AC 입력 전원 | 220VAC (187VAC - 253VAC), 1Ф(접지 포함) | 220VAC (180 VAC - 260 VAC), 접지 포함 3Ф |
220VAC (180 VAC - 260 VAC), 접지 포함 3Ф |
220VAC (180 VAC - 260 VAC), 접지 포함 3Ф |
| AC 입력 커넥터 | CE05-2A18-10PD-D-RG (제조 DDK) |
MS3102A18-10P(암페놀) | MS3102A18-10P(암페놀) | H16B-BK-1L_SC (HK-004_0-M-14355424808) |
| AC 전류 | 8ᅡ | 16A/라인 | 16A/라인 | 40A/라인 |
| 랙 마운트 기능 | 19" 랙 장착 가능 | 19" 랙 장착 가능 | 19" 랙 장착 가능 | 19" 랙 장착 가능 |
| 무게 | 15kg | 21kg | 30kg | 40kg |
| 냉각 | 공기 | 물 ( >6lpm ) | 물 ( >6lpm ) | 물 ( >8lpm ) |
| 입력 수온 | +5°C에서 +35°C (+41°F에서 +95°F) | +5°C에서 +35°C (+41°F에서 +95°F) | +5°C에서 +35°C (+41°F에서 +95°F) | |
| 최소 유량 | > 6 lpm | > 6 lpm | 8 리터/분 |
