신품 판매중
POD 클리너
가격 가격협의
모델명
제품분류 화학/화공/유분체
업체명 디바이스이엔지
전화번호 041-629-5200
등록일 24.05.30
상세설명

반도체 생산공정에서 사용되는 200mm POD를 세정용 Tray에 장착하여In-Line으로 구성된 Conveyor를 이용해 반송하면서 Shower Nozzle을 통해 분사되는DIW를 이용하여 세정한 후 Hot CDA를 분사하여 건조하는 자동 세정 장비