상세설명
반도체 생산공정에서 사용되는 200mm POD를 세정용 Tray에 장착하여In-Line으로 구성된 Conveyor를 이용해 반송하면서 Shower Nozzle을 통해 분사되는DIW를 이용하여 세정한 후 Hot CDA를 분사하여 건조하는 자동 세정 장비
반도체 생산공정에서 사용되는 200mm POD를 세정용 Tray에 장착하여In-Line으로 구성된 Conveyor를 이용해 반송하면서 Shower Nozzle을 통해 분사되는DIW를 이용하여 세정한 후 Hot CDA를 분사하여 건조하는 자동 세정 장비