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모델명

제품분류 화학/화공/유분체

업체명 디바이스이엔지

전화번호 041-629-5200

등록일 24.05.30

CIS 생산공정에 사용되는 Cassette/ Magazine을 자동으로 세정하는 장치로써 Shower Nozzle을 통해분사되는 DIW 또는 Hot DIW를 이용하여 세정 후 N2 및 CDA, 가시광 Lamp의 복사열을 이용하여 건조하는 장비