모델: U-200
UV-LED 웨이퍼 경화 시스템에는 최대 200mm의 웨이퍼 크기와 프레임에 UV 테이프를 노출시키는 데 적합한 48개의 고출력 UV LED가 장착되어 있습니다. 디지털 전위차계를 사용하여 컨베이어 속도는 0~25mm/s 사이의 작은 간격으로 조정됩니다. 필요한 에너지 투여량은 변환표에서 파생되며 15~75초의 처리 시간에 165mJ/cm2~825mJ/cm2 사이의 값을 허용합니다. UV 테이프와 프레임 사이의 원래 접착력을 유지하기 위해 필요한 경우 노출 중에 스텐실(형판)을 사용하여 프레임 표면을 덮을 수 있습니다.
일반적인 수은 증기 램프 시스템과 비교하여 이 장치는 전원을 켜는 즉시 사용할 수 있습니다. 또한 평균 파장 365nm의 LED 노광으로 유해한 오존이나 위험한 수은 가스가 발생하지 않습니다.
작동 모드: 장착된 웨이퍼를 컨베이어 왼쪽에 놓기만 하면 됩니다. 그런 다음 뚜껑을 닫았습니다. 시작 버튼을 누르면, 웨이퍼는 유닛 중앙에 위치한 UV LED 바 위로 이송됩니다. 리미트 스위치는 프로세스를 종료하고 노란색 제어 램프로 제거 준비 상태를 나타냅니다.
Options for UV-LED Wafer Curing System U-200
Option 1: Nitrogen Supply
원래 수은 증기 램프의 오존 형성을 방지하기 위해 질소가 사용되었습니다. 그러나 경험에 따르면 노출 기술에 관계없이 테이프 가장자리의 접착테이프는 산소 농도가 낮을 때 더 나은 경화 결과를 제공합니다. 질소 공급은 LED 바 바로 위에 선택적으로 설치된 플렉시 유리를 통해 제공됩니다.
질소 공급(최대 6bar)에 대한 특별한 요구 사항은 없습니다.
Option 2: UV Measurement Tool
원반형 측정장치는 U-200을 웨이퍼처럼 컨베이어에 올려 놓는 방식으로 U-200의 적용에 최적화되어 있습니다. 노광 과정에서 강도가 적분되어 복사속(mJ/cm2)으로 표시됩니다. 측정을 통해 시간 경과에 따른 상대적 비교가 가능합니다.
Option 3: Safety bridges for small substrate < 6” & Distance plates
안전 브리지는 기판이 민감한 LED에 닿지 않도록 하고 거리 플레이트는 컨베이어와 파란색 보호 유리 사이의 간격을 늘려 6mm 또는 그립 링의 기판을 운반할 수 있도록 해줍니다.
모델: U-300
UV-LED 웨이퍼 경화 시스템에는 최대 300mm(12인치) 크기의 프레임과 웨이퍼 크기에 UV 테이프를 노출시키는 데 적합한 72개의 고출력 UV LED가 장착되어 있습니다. 디지털 전위차계를 사용하여 컨베이어 속도는 0~25mm/s 사이의 작은 간격으로 조정됩니다. 필요한 에너지 투여량은 변환표에서 파생되며 20~45초의 처리 시간에 165mJ/cm2~825mJ/cm2 사이의 값을 허용합니다. UV 테이프와 프레임 사이의 원래 접착력을 유지하기 위해 필요한 경우 노출 중에 스텐실을 사용하여 프레임 표면을 덮을 수 있습니다.
일반적인 수은 증기 램프 시스템과 비교하여 이 장치는 전원을 켜는 즉시 사용할 수 있습니다. 또한 평균 파장 365nm의 LED 노광으로 유해한 오존이나 위험한 수은 가스가 발생하지 않습니다.
작동 모드: 장착된 웨이퍼를 컨베이어 왼쪽에 놓기만 하면 됩니다. 그런 다음 뚜껑을 닫았습니다. 시작 버튼을 누르면, 웨이퍼는 유닛 중앙에 위치한 UV LED 바 위로 이송됩니다. 리미트 스위치는 프로세스를 종료하고 노란색 제어 램프로 제거 준비 상태를 나타냅니다.
Options for UV-LED Wafer Curing System U-300
Option 1: Nitrogen Supply
원래 수은 증기 램프의 오존 형성을 방지하기 위해 질소가 사용되었습니다. 그러나 경험에 따르면 노출 기술에 관계없이 테이프 가장자리의 접착 테이프는 산소 농도가 낮을 때 더 나은 경화 결과를 제공합니다. 질소 공급은 LED 바 바로 위에 선택적으로 설치된 플렉시 유리를 통해 제공됩니다.
질소공급(최대 6bar)에 대한 특별한 요구 사항은 없습니다.
Option 2: UV Measurement Tool
원반형 측정장치는 U-300을 웨이퍼처럼 컨베이어에 올려 놓는 형태로 U-300의 적용에 최적화되어 있습니다. 노광 과정에서 강도가 적분되어 복사속(mJ/cm2)으로 표시됩니다. 측정을 통해 시간 경과에 따른 상대적 비교가 가능합니다.
Option 3: Safety bridges for small substrate < 6” & Distance plates
안전 브리지는 기판이 민감한 LED에 닿지 않도록 하고 거리 플레이트는 컨베이어와 파란색 보호 유리 사이의 간격을 늘려 6mm 또는 그립링의 기판을 운반할 수 있도록 해줍니다.
