상세설명
① 구동액츄에이터 : TULA35 · 2ea
② Stroke ： 4mm
③ Resolution : 1.0μm (0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm 선택가능)
④ Repeatability ： ±3pulse (Resolution 0.1μm 선택 시 : ±5pulse）
⑤ Thrust power ： 40gf
⑥ Holding force ： 150gf
⑦ Weight ： 약 8g
⑧ Table size ： 18×22mm
