상세설명
Tape Frame FOUP(FOUP FRAME CASETTE)
- 다이싱 프레임(Tape Frame)에 세팅된 웨이퍼의 공정간 반송에 이용
- SEMI 규격에 준한 FOUP(밀폐형 용기)
- AMHS에 대응하여 충격에 강하며 뛰어난 내마모성
- 기밀성(패킹 포함), 내마모성을 중시한 고클린 타입
- N2 퍼지의 유,무 선택가능
- 대응 사이즈 : 8인치, 12인치용
- 재질 : PC + CNT
- 수납수량 : 13장
