상세설명
응용 프로그램
초고순도 가스 라인, 반도체 훅업 라인, 벌크 가스 라인
기능
금속 대 금속 다이어프램 씰 누출 방지 무결성
내부 표면 EP 10 Ra 또는 5 Ra 마이크로 인치
모두 반도체 응용 분야에 사용할 수 있는 클래스 10 클린룸
에서 수행
사양
- 최대 입구 압력 :
600 psig (41 bar)
- 출구 압력 범위 :
0-60 psig (0-4 bar), 0-100 psig (0-7 bar),
0-150 psig (0-10 bar), 0-250 psig (1-17 bar)
- 작동 온도 범위 :
-15°F (-26°C) - 176°F (80°C)
