여기에마켓 제품 :: 전계방출형 투과전자현미경

공간분해능과 경사, 분석 성능을 조화시킨 200kV 수차보정(correcting spherical aberration) TEM/STEM

0.078 nm의 STEM 공간분해능, 높은 시료경사, 큰 입체각 EDX를 Single pole piece로 실현했습니다. 주사투과전자현미경 [HD-2700]에 탑재된 히타치제작 구면수차 보정기와 자동보정기능, 수차보정 SEM 이미지, Symmetry-dual SDD 등의 특장점은 그대로 유지하며, 투과전자현미경 HF시리즈로 키워온 기술을 집약, 융합시켰습니다.
High-end user를 비롯하여 다양한 유저를 대상으로 sub-Å 레벨의 공간분해능과 고분석 성능을 더욱 다양한 관찰, 분석방법과 함께 제공합니다.

특징

히타치제작 조사계구면 수차보정기(자동보정기능 포함)를 표준 탑재
고휘도, 안정도가 높은 Cold FE 전자총 탑재
컬럼, 전원 등 높은 안정화에 의한 본체 성능 향상
Cs-SEM/STEM상 동시 관찰과 원자분해능 SE상 관찰
신형 Side-entry 시료 스테이지 기능, 시료 홀더 탑재
대 입체각 EDX^* 듀얼 대항배치 (Symmetry-dual SDD^*) 에 대응
새로운 구조의 본체 enclosure cover 사용
각종 히타치제작 고기능 홀더*를 라인업

고휘도 Cold FE전자총 x 높은 안정화 x 히타치제작 구면수차보정기

오랜 기간동안 누적된 고휘도 Cold FE 전자원의 Know-how을 바탕으로 더욱 안정화된 전자총을 개발하였습니다.
또한 sub-Å상관찰에 대응 하도록 컬럼, 전원, 시료 스테이지를 새롭게 하여 기계적, 전기적 안정도를 높여 히타치제작 주사계 구면수차 보정기와 조합시켰습니다.
보다 높은 고휘도에서 미세한 프로브를 더 안정적으로 얻을 수 있을 뿐만 아니라 자동수차 보정기능으로 신속하게 보정이 되어 장치 본래의 성능을 손쉽게 끌어냅니다. 수차보정을 보다 실용적으로 이용하실 수 있습니다.

Cs-SEM 이미지 / STEM 이미지 동시관찰

이차전자 검출기를 표준탑재하여 Cs-SEM/ STEM 이미지 동시관찰이 가능합니다. 시료표면과 내부구조의 동시 관찰로 3차원적인 시료구조 파악이 가능합니다. Cs-SEM 이미지에서는 구면수차보정에 의한 분해능 향상과 더불어 시료의 고해상도 극표면 이미지를 얻을 수 있습니다.