Cold FE 전자원은 여타 전자원 대비 광원 크기나 에너지 폭이 작아서 고분해능 관찰에 적합합니다. 아울러 SU9000은 고휘도와 안전성을 겸비한 신형 Cold FE 전자총을 탑재하여 고분해능 관찰만 아니라 고품질 원소 분석 또한 가능합니다.
또한, In-lens형 대물 렌즈를 갖춘 SU9000은 Option장착으로 EELS 및 Diffraction 측정이 가능해졌습니다.
SU9000은 히타치 FE-SEM의 최상위 기종입니다.
저수차 렌즈의 최고봉인 In-lens형 대물 렌즈를 탑재한 SU9000은 세계 최고 분해능 0.4 nm (가속 전압 30 kV) 를 달성하였습니다. 저가속전압 영역에서는 0.8 nm (조사 전압 1 kV) 를 보증하고 있습니다.
SU9000은 High-end TEM과 동일한 Side Entry Stage를 채용하고 있습니다. 아울러 고강성 Frame과 소음 차단 커버를 통해 다양한 설치 환경에서도 높은 퍼포먼스를 실현합니다.
또한, SU9000의 시료실은 종래 대비 한 차원 높은 진공을 유지할 수 있으므로 Contamination의 영향을 최소한으로 억제할 수 있습니다.
SU9000의 Imaging용 검출기는 Upper / Top / BF-STEM / DF-STEM 4종을 장착할 수 있습니다.
히타치 FE-SEM에서 정평이 난 Super ExB 필터는 Upper 검출기와의 조합을 통하여 SE 및 LA-BSE를 제어합니다. 이를 통해 표면의 미세 구조 관찰이나 조성 관찰이 가능합니다.
Top 검출기에서는 HA-BSE를 검출함으로써 요철 정보를 저감한 반사전자 Image (조성, 결정)을 취득할 수 있습니다. 이러한 검출기들을 갖추고 있는 SU9000은 촉매 등 최첨단 연구에 적합한 시스템입니다.
아울러 SU9000의 STEM 기능은 박막 시료와 밀도차의 작은 시료 등 High-Contrast 관찰에 최적입니다. 또한, BF / DF Duo-STEM 검출기 (옵션)는 명시야 Image와 암시야 Image를 동시에 취득할 수 있습니다.
주요 특징
- 0.4 nm@3.0 kV의 세계 최고 2차전자분해능을 보증
- 새롭게 개발한 Cold FE 전자총으로 저수차와 고휘도 안정 Probe 모두를 실현
- 시료 Damage의 경감 등을 목적으로 한 저가속 전압 성능
- Contamination의 영향을 경감한 초고진공시료실
- 다양한 설치 환경 하에서도 높은 퍼포먼스를 실현하기 위한 고강성 Frame과 소음 차단 커버
- Side-entry 방식 (시료 교환 위치가 고분해능 관찰 위치)을 통한 신속한 고분해능 관찰
