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모델명

제품분류 로봇/자동화

업체명 (주)서진엔지니어링

전화번호 0504-0667-5050

등록일 22.11.09

R축	θ축	Z축
반송속도	508mm/sec	180°/1.2sec	300mm/1.6sec
동작범위	508mm/108mm	330°	300mm
반송대상	Ф150mm, Ф200mm, Ф300mm silicon wafer 대응
반복 정밀도	±0.1mm 이내
전원/진공	DC24V / 19A
질량	45kg