상세설명
| R축 | θ축 | Z축 | |
|---|---|---|---|
| 반송속도 | 250(400)mm/sec | 500(700)mm/sec | 500(700)mm/sec |
| 동작범위 | ±416mm | 550mm | 2440mm |
| 반송대상 | Ф300mm silicon wafer 만재 FOUP 질량 8.2kg | ||
| 반복 정밀도 | ±0.2mm 이내 | ||
| 전원/진공 | AC200~230V+10~-15% 50/60Hz 3상 전원 2.5KVA 이상 | ||
| 질량 | 승강 Slide Unit 140kg, Arm & Shift Unit 40kg | ||
