상세설명
■ 샤워헤드 Hole 직경, 위치 측정과 내측 파티클 자동 검출을 위한 세계 최초 혁신적인 대면적 고속 스캐닝 검사 시스템
■ 고속 이미지 스캐닝을 위한 고선명 고화소 라인스캐닝 카메라와 디지털 영역 카메라의 듀얼 광학 시스템 적용
■ 16K 고화소 라인 스캐닝 카메라 적용으로 고선명 이미지 획득
■ X, Y축 비접촉 마그네틱 리니어 모터 적용으로 이송시 구동부 진동과 스트레스 최소화하여 고정밀 이송 안정성 제공
■ 효율적인 고속 측정으로 다수의 측정 포인트에 대한 혁신적인 시간과 비용 감소
