상세설명
적용 - 진공 코팅 / 열처리 / 반도체 / TFT 산업 적용 / 청정 진공 시스템
사양 - 80/96m³/hr ~ 150/180m³/hr
500/600m³/hr ~ 1,500/1,800m³/hr
적용 - 진공 코팅 / 열처리 / 반도체 / TFT 산업 적용 / 청정 진공 시스템
사양 - 80/96m³/hr ~ 150/180m³/hr
500/600m³/hr ~ 1,500/1,800m³/hr