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모델명 내플라즈마용 세라믹

제품분류 세라믹/요업/내화물

업체명 (주)맥테크

전화번호 0504-0668-1306

등록일 21.12.23

– 반도체 및 디스플레이 산업의 건식 식각 설비 및 CVD 장비를 위한 내화학성/내플라즈마용 부품 제작에 활용
– 불화수소를 포함한 에칭가스(etching gas)에 대해 강력한 내화학성을 지니기 때문에 설비의 내구성을 향상시키고 particle로 인한 제품 불량률을 감소시킴
– 에처 부품 중 내플라즈마성을 요구하는 focus ring, dome, showerhead 등에 활용