진공로(HIGH VACUUM FURNACE) 본 장치는 고진공 중에도 고온을 사용할 수 있는 진공로로서 표준 발열체로서 GRAPHITE를 사용하며 사용목적에 따라 TUNGSTEN, Mo, Ta 등을 사용하며, 금속, 세라믹 연구 등에 사용할 수 있는 실험실용 장비이다. 용도 : 진공열처리,소결, 접합
T Y P E
SVFV - 4 D - 400
SVFV -6D - 500
가 열 온 도
1000 ~ 2000 ℃
도 달 진 공 도
10-5 torr
가 열 속 도
RT ~ 1000 ℃ 1시간 이내
진 공 조(mm)
Ø600 × 500H
Ø500 × 600L
유효가열면적
Ø100 × 150H
200W × 200D × 200H
진 공 PUMP
380L/min
600L/min
고 진 공 PUMP
SD -4D
SD - 6C
형 상
수 직 형
횡 형