개요

Bronkhorst High-Tech B.V는 열 질량 유량계/컨트롤러 및 전자
압력 컨트롤러 분야에 있어 유럽 시장에서 선도적 역할을 하고
있으며 정확하고 신뢰성 있는 측정기 및 제어 장비를 30년 동
안 설계 및 제작해 왔습니다. 다양한 기기를 사용하여 여러 분
야의 시장 적용이 가능하도록 현실적인 대안을 제공하고 고객
의 요구 사항에 맞춰 연구소, 산업 분야, 위험 지역의 설비에 적
합하도록 제작하고 있습니다.

> LIQUI-FLOWTM 시리즈 L10 / L20

Bronkhorst High-Tech B.V.는 열 측정 원리를 기반으로 마이크
로 시장의 저 유량 측정 기기 분야의 선도적 역할을 합니다. 액
체요 디지털 유량계는 빠른 응답을 가진 콤팩트 기기로서 유량
범위 5 g/h ~ 1000 g/h에서 사용 가능하도록 설계되어 있습니
다. 기본적으로 스테인리스강 튜브로 구성되고 히터 및 센서 구
성은 튜브 외관부에 연결되어 있습니다. 풍속 측정 원리로 센
서 튜브의 가는 금속 선을 전기적으로 가열하여 공기 흐름의 직
각 방향에 두면, 저항선이 열을 빼앗겨 온도가 내려갑니다. 저
항에 변화하는 원리로 일정 온도차 (ΔT)는 에너지가 필요합니
다. Bronkhorst 사의 특별한 센서가 가진 특징은 최대 5℃ 온도
변화로 인해 낮은 비등점을 요구하는 액체 사용에 L10/L20 시
리즈가 적합 합니다.

> 액체 유량 제어

유량 제어는 액체 유량계 몸체의 통합 컨트롤 밸브와 분리된 구
성 요소 (IP65 구성)로 탑재되어 유량 제어가 이루어집니다. 시
스템 구동시, 컨트롤러 밸브는 공기 및 사용 기체를 용이하게
하기 위해 슬리브 윗부분에 퍼지 연결부를 가집니다. 액체 유량
계 컨트롤러는 일반적으로 전기 회로망의 일부로 이루어져 별
도의 외부 컨트롤러가 필요하지 않습니다. 액체 흐름 제어의 대
안적 방법에 대해, 즉, 폐쇄 연결 펌프를 사용에 대해서는 ‘액체
투여 시스템’ 소책자를 참조해 주십시오.

> Multi-Bus 기술

Bronkhorst High-Tech는 멀티 버스 원리를 기반으로 최신 디
지털 기기들을 개발하였습니다. 디지털 기기의 기본 PC 보드
에는 측정 및 제어에 필요한 모든 기능이 갖춰져 있습니다. 표
준으로 아날로그 I/O 신호 및 RS232 연결 그리고 DeviceNet™,

Profibus-DP®, Modbus-RTU, EtherCAT 또는 FLOW-

BUS 프로토콜과 인터페이스 보드를 통합할 수 있습니다.
> 일반 LIQUI-FLOWTM 특징
◆ 빠르고 정확한 측정 신호
◆ 설치 포지션의 제약이 적음
◆ 내부 용적이 매우 작음
◆ 낮은 비등점 액체에 적합함
◆ 연구 시설 및 OEM 적용
◆ 산업 분야 적용 가능 (IP65 하우징, ATEX Cat.3, Zone

    2)
> 디지털 특징
◆ DeviceNetTM, Profibus-DP®, Modbus

    RTU,EtherCAT® 또는FLOW-BUS 슬레이브

◆ RS232 인터페이스
◆ 경보 및 적산 기능
> 응용 분야
◆ 반도체 산업
◆ HPLC 응용
◆ 화학 산업
◆ 식품, 의약 산업
◆ 분석적 연구 시설

> 모델 및 유량 범위

> Models and flow ranges

> 모델 형번

> 치수 및 무게

질량 흐름 유량계

체적 (단위 mm)

질량 흐름 컨트롤러

체적 (단위 mm)

IP65 질량 흐름 계량기

IP65 질량 흐름 컨트롤러

> 산업용 LIQUI-FLOWTM 시리즈 제품

저유량 범위에 쓰이는 LIQUI-FLOWTM 시리즈 L10I/L20I의 디

지털 액체 유량계/컨트롤러들은 ATEX 범주 3에 적합한 산업

환경과 구역 2 위험 장소에서의 사용에 적합하도록 내구성이

강한 산업용 PC 보드 하우징을 장착하였습니다. 이 제품은 열

방식 유량 측정을 수행하며 제어 밸브와 함께 연결사용이 가능

합니다. 표준 직접 작용 밸브 (모델 C21)의 경우, 일반적인 정

상 폐쇄 형식이며 최대 압력 범위는 100bar(1500psi)입니다.

또한 퍼지 연결을 통해 공기 및 가스 배출이 가능합니다.

L23I 질량 흐름 유량계, IP65 구성

폐쇄 연결 제어 밸브를 가진 IP65 질량 흐름 유량계

> 적용 예

펌프 검증
LIQUI-FLOWTM 흐름 유량계는 HPLC 펌프와 함께 분석적 응용
에서 사용되는 동시에 펌프 실행 검사를 수행합니다. 아래 제시
된 예와 같이 기어 펌프 폐쇄 연결로 이용되며 통합 PID 컨트롤
러를 통한 설정 지점 신호를 사용하여 펌프 회전 속도를 연속적
으로 조절합니다.

식품 및 의약 필링 공정 내의 GMP 검증
식품 및 의약 분야 적용에서 필링 공정이 매우 정확해야 하기
때문에, LIQUIFLOWTM 시리즈 L10/L20이 해당 공정에 적합한
제품입니다. 이 디지털 기기의 주요 특징은 높은 정밀도, 빠른
응답성, 소형의 기능적 설계 및 매우 작은 내부 용적을 들 수 있
습니다.

Batch filling process

> 증기화

증기 제어를 가진 액체 전달
CEM-시스템 (Controlled Evaporation and Mixing: 제어

증기 및 혼합)은 대기 또는 진공 공정 처리에 적용할 수 있는

혁신적인 액체 공급 시스템 (Liquid Delivery System: LDS)

입니다. 증기 생성 시스템 (vapour generation system), MF

C (가스), 온도 컨트롤러, 혼합기, 증발 장치로 구성됩니다.

이 시스템은 포화된 증기 흐름 범위 50mln/min 에서 최대 100ln/min에 걸친 0,25 g/h ~ 1200 g/h 사이의 혼합 액체 흐

름에 적합합니다. 증발기 시스템은 버블러를 대체할 수 있습

니다. CEM-시스템과 함께 생성된 새로운 기호: 혼합물은 증

기화될 수 있으며, 심지어, 솔벤트 내에 용해된 고형 물질도

성공적으로 증기화할 수 있습니다.

특징
◆ 정확하게 제어된 기체/액체의 혼합

◆ 빠른 응답
◆ 높은 재현성
◆ 물, 용제, 액체 혼합물 처리
◆ 매우 안정된 증기 흐름
◆ 가스/액체 비의 자유로운 선택
◆ 기존 시스템 보다 더 낮은 작업 온도

증기 전달 응용
◆ 화학 증기 퇴적물 (Chemical Vapour Deposition: CVD).
예를 들어, 경화, 얇은 필름 코팅, 평탄화 공정
◆ 참조 가스 증기 농도를 사용한 분석기 시험/교열
◆ 보호복에 대한 독성 가스 효과
◆ 참조 H2O 증기 농도 분석기
◆ 연료 가습
◆ 마취학