상세설명
고순화로 특장점 - DC 전원 선택사양
-
방전발생 억제와 함께
방열손실을 최소화하는
밀폐 전극 구조 -
필터, 배기역류 방지 및
자체 세정 기능으로
Dry Pump 3중 보호 -
순화 가스 vs 보호 가스의
유로 및 압력 제어에 의한
가열실 수명 연장 -
열전대 이동 및
방사온도계 측정기구의
최적화로 온도제어의
정밀성 확보 -
초고온 과열사고의
방지를 위한 온도/전력
감시의 3중 안전 장치 -
방전방지와 수명 연장을
동시에 확보할 수 있는
발열 부하 설계 -
제품 형상 또는
적재 방식에 따라
수평형 또는 수직형
으로 설계 제작 -
Muffle 개폐와 도어
개폐를 연동함으로써
장입작업이 신속하고
편리
| 구분 | 사양 | 구분 | 사양 |
|---|---|---|---|
| 장비 형식 | 수평 또는 수직형 초고온 가스반응 진공로 | Retort Box | 사각 박스형 또는 다각 원통형 Graphite CIP Muffle |
| 피처리물 | Graphite Bulk | 공정 가스 | HCl 또는 Cl2 [순화가스], 질소 [보호가스] |
| 사용 온도 | Nor. 2,000~2,200℃ [Max. 2,300℃] | 공정 분위기 | Pulse Cycle 제어, 가스분압 제어 |
| 장입 용량 | 500 ~ 1200Kg | 공정 압력 | 1 ~ 90 KPa |
| 온도 균일도 | ±12℃ [무부하, 머플 표면 대각선 방향 3점, 2200℃] | 진공배기 | MBP + Dry Pump [ 40분 이내 1Pa 이하, 무부하] |
| 승온 속도 | 10℃/분(~1500℃), 5℃/분(~2000℃), 2℃/분(~2200℃) | Leak Rate | 1×10-(3)Pa・㎥/sec 이하 |
| 온도 측정 | Pyrometer [온도검증 : C type 열전대] | 강제 냉각 | 2200℃ -> 200℃ 약 18~36시간 |
| 가열실 재료 | Graphite | 발열 전원 | AC 3Φ 또는 DC |
