상세설명
Chamber 크기 : 600 ´ 1000L
장비의 총 크기 : W ´ D ´ H, ㎜ : 1800 ´ 2500 ´ 1800
Hot Zone 크기, ㎜ : 300 ´ 300H
도달 압력 torr : ´ 10-3
사용온도 : MAX. 2500
사용분위기: 진공, N2, Ar
승온시간 : 30도/min
장비 총 무게 : 2300Kg
Chamber 크기 : 600 ´ 1000L
장비의 총 크기 : W ´ D ´ H, ㎜ : 1800 ´ 2500 ´ 1800
Hot Zone 크기, ㎜ : 300 ´ 300H
도달 압력 torr : ´ 10-3
사용온도 : MAX. 2500
사용분위기: 진공, N2, Ar
승온시간 : 30도/min
장비 총 무게 : 2300Kg