상세설명
- Micro Void 최소화 위한 고효율 실리콘 pad 개발 및 경도 최적화 정립
- 균일한 온도 분포 구현 위한 Heating System
- Chamber 내부의 완벽한 진공 구현 위한 Vacuum 최적화 Model (특허출원)
- 정밀한 위치 제어(±1.5mm미만) 위한 Servo System
- 정밀한 압력 제어 위한 압력 제어
- 실리콘 pad 및 열판의 온도 제어 위한 controller 및 program
- Clean System 구현을 위한 cleaning system
- Film의 일정한 장력 구현을 위한 Tension control program
