ACPM650은 현상전 Print 기판의 Dry Film의 Cover Film을 자동으로 박리하는 장치 입니다.

    Clean한 박리
Air Blow를 사용하지 않고 점착 Roller로 박리 하므로 DFR Chip의 비산을 최소화 할수 있습니다.
Hepa Filter에 의한 Down Flow도 가능 합니다.(Option)
    박판/후판 의 준비작업 용이화
기판의 Size나 두께 변화에 따른 별도의 Setting이 필요 없습니다. 박리 Miss 기판은 NG Stocker 에 적재 됩니다.(4매) 초음파 Sensor의 탑재로 Film의 박리 유무를 확실히 검출 합니다.
    초박판 대응
기판두께 0.025t~3.2t(기재두께) 대응이 가능 합니다. 신 개발의 횡 이동식 롤렛 롤러의 탑재로 박리가 용이 합니다.
투입측에 기판의 끝부분을 Clamp 하는 기능이 있어 박판 작업시 문제가 되었던 기판의 말림을 방지 하였습니다. Conveyer의 Roll Pitch를 최소화 하여 박판의 반송을 안정화 하였습니다.