고해상도, High Throughput 의 Mask Less Digital 노광장치
INPREX [IP-4/IP-6 9000 * 9500H/IP-8 8000H/IP-15 5000UH*UHS/IP-12 6000H/IP-10 7000H/IP-15 L3800(H)]
2005 년 세계 최초의 양산 라인 대응의 전자동 디지털 노광기로 탄생한 Mask Less의 INPREX는 압도적인 생산성과 고정밀 고속 노광을 실현하였습니다. 또한 클램프를 비롯한 여러가지 새로운 기능은 휨기판등 실제 양산시 발생할수 있는 여러가지 문제에 대한 대응력을 크게 향상시켜 장비의 가동율을 극대화 시켰습니다. 압도적인 생산성과 여러 고객의 양산 Line에서 안정된 가동 실적을 쌓아온 INPREX는 높은 품질과 높은 생산성을 실현한 차세대 노광장치 입니다.

▒PKG향 Fine Pattern용 : INPREX [IP-4/IP-6 9000 * 9500H/IP-8 8000H]
▒HDI/Build up용 : INPREX [IP-15 5000UH*UHS/IP-12 6000H/IP-10 7000H]
▒대면적 노광용 : INPREX [IP-15 L3800(H)]