상세설명
해파필터유닛
HEPA FILTER가 내장된 UNIT로서 클린룸의 청정도에 상응하는 수량이 SA DUCT에 연결, 설치됩니다. (FILTER 정압은 표준 제품 사용시 25.4mmQq이며, 차압계 정압이 50.8mmAq를 나타낼 때 HEPA FILTER를 교체하시면 됩니다.)
표준 사양서
해파필터유닛
HEPA FILTER가 내장된 UNIT로서 클린룸의 청정도에 상응하는 수량이 SA DUCT에 연결, 설치됩니다. (FILTER 정압은 표준 제품 사용시 25.4mmQq이며, 차압계 정압이 50.8mmAq를 나타낼 때 HEPA FILTER를 교체하시면 됩니다.)
표준 사양서