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반도체장치
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모델명 DRA100 Series
제품분류 IC/반도체부품/클린룸
업체명 (주)드라스타
전화번호 0504-0667-6683
등록일 20.10.16
상세설명

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  Products Feature

   
DRA100 Series UHP VCR type Pressure Reducing Regulators

DRA100 시리즈는 초고순도 반도체 제조용 특수 가스 라인, Bulk Gas Line , 기타 설비 라인 등에 사용하도록 고안된 Pressure Reducing Regulator입니다. 반도체 생산 hook-up 라인 등에 사용되도록 내부 표면은 B. A. 급에서 E. P 10 Ra, 5 Ra급까지 처리하였습니다. 사용 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택하여 사용 할 수 있도록 하였습니다. 입구 압력은 최대 3500psig(241bar)이고 Outlet working pressure 각각의 모델에 따라 최대 250psig(17bar)까지 사용하기에 더욱 적합한 제품입니다. DRA100 시리즈는 조립, 용접, 실험과 세정까지의 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 모든 작업이 이루어집니다

또한 외부적인 진동과 가스라인의 미세 진동 등으로 인하여 초기 셋팅 값이 미세하게 조금씩 변하는 현상을 완전히 해결한 드라스타 만의 Push and Lock 타입(특허 1086199출원)의 조절 손잡이를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 셋팅값이 변하는 것을 완전히 방지하며, 손잡이를 앞으로 당기면 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있는 드라스타 만의 특허 출원한 Push and Lock 타입의 레귤레이터 입니다.

  Ordering Information.

   
 
DRA100 - A 025 S - H
BASIS
SERIES
NUMBER
BODY
MATERIAL
OUTLET
PRESSURE
RANGE
DIAPHRAGM
MATERIAL
MAX.
INLET
PRESSURE

DRA100

A = 316L Bright Annealed ----------- B.A

B = 316L Electropolish ------------- 10Ra

C = 316L Intemal Electropolish ----- 10Ra

D = 316L Electropolish VAR(P.E.P) -- 10Ra

E = 316L Electropolish VAR(P.E.P) -- 5Ra
 

025 = 1-25psi (.1-1.7bar)

050 = 1-50psi (.1-3.5bar)

100 = 1-100psi (.1-7bar)

250 = 1-250psi (.2-17bar)

S = STS 316L

H = Hastelloy-C
H = 3500psi(238bar)

L = 600psi(41bar)
 
P S - 4MS - G0S
SEAT
MATERIAL
FLOW
CAPACITY
INLET
OUTLET
PORTS SIZE
                  Type "A" ± 1.0mm
GAUGE
PORTS
OPTIONS
               Gauge Ports
P = PCTFE

T = Teflon

V = Vespel
S = Cv 0.06 Standard (1/4")

O = Cv 0.2 Optional (1/4")

S = Cv 0.2 Optional (3/8")

S = Cv 0.5 Optional (1/2")

O = Cv 1.0 Optional (1/2")

S = Cv 1.2 Standard (3/4")

4HP = 1/4" H.P.I.C

4MS = 1/4" Male Swivel ---- 94mm
4FS = 1/4" Female Swivel -- 94mm
4FL = 1/4" Female Swivel -- 000mm
4ML = 1/4" Male Swivel ---- 000mm

8MS = 3/8" Male Swivel ---- 120mm
8FS = 3/8" Female Swivel -- 120mm

2MS = 1/2" Male Swivel ---- 140mm
2FS = 1/2" Female Swivel -- 140mm
2ML = 1/2" Male Swivel ---- 000mm
2FL = 1/2" Female Swivel -- 000mm

3MS = 3/4" Male Swivel ---- 160mm
3FS = 3/4" Female Swivel -- 160mm

4IMF = In 1/4" Male
          Out 1/4" Female ----- 94mm
4IFM = In 1/4" Female
          Out 1/4" Male ------- 94mm

2IMF = In 1/2" Male
          Out 1/2" Female ----- 140mm
2IFM = In 1/2" Female
          Out 1/2" Male ------- 140mm
2IMFL = In 1/2" Male
          Out 1/2" Female ----- 000mm
2IFML = In 1/2" Female
          Out 1/2" Male ------- 000mm

4TS = 1/4" Tube Stubs ---- 94mm

8TS = 3/8" Tube Stubs ---- 94mm

2TS = 1/2" Tube Stubs ---- 120mm

3TS = 3/4" Tube Stubs ---- 120mm
 
G0S = None -------------- 0

G1S = 1/4" H.P.I.C ------ 1

G2S = 1/4" H.P.I.C ------ 2

G2B = 1/4" H.P.I.C ------ 2

M1S = 1/4" Male Sw. ----- 1

M2S = 1/4" Male Sw. ----- 2

M2B = 1/4" Male Sw. ----- 2

F1S = 1/4" Femle Sw. ---- 1

F2S = 1/4" Femle Sw. ---- 2

F2B = 1/4" Femle Sw. ---- 2

S1S = 1/4" Fixed Male --- 1

S2S = 1/4" Fixed Male --- 2

S2B = 1/4" Fixed Male --- 2
 

 Specification

   

 Ports

 DRA100-A100S-xxx-4MS-GxS   1/4"  Male
 DRA100-A100S-xxx-4FS-GxS    1/4"  Female
 DRA100-A100S-xxx-8MS-GxS   3/8"  Male
 DRA100-A100S-xxx-8FS-GxS    3/8"  Female
 DRA100-A100S-xxx-2MS-GxS   1/2"  Male
 DRA100-A100S-xxx-2FS-GxS    1/2"  Female
 DRA100-A100S-xxx-3MS-GxS   3/4"  Male
 DRA100-A100S-xxx-3FS-GxS    3/4"  Female

 Leak Rate
 Certification

 to 1 x 10-9 atm cc/sec Helium available.

 Body Materials

 DRA100-A100x-xxx-xxS-GxS 316L Bright Annealed ------ B.A  DRA100-B100x-xxx-xxS-GxS 316L Electropolish -------- 10Ra
 DRA100-C100x-xxx-xxS-GxS 316L Intemal Electropolish --10Ra
 DRA100-D100x-xxx-xxS-GxS 316L Electropolish VAR(P.E.P)10Ra
 DRA100-E100x-xxx-xxS-GxS 316L Electropolish VAR(P.E.P) 5Ra

 Bonnet Material

 Nickel Plated Brass (Stainless steel 316L Optional)

 Diaphragm

 DRA100-x100S-xxx-xxS-GxS  STS 316L
 DRA100-x100H-xxx-xxS-GxS  Hastelloy-C

 Main Valve

 DRA100-A100S-xxx-xxS-GxS  Stainless steel 316L  Standard
 DRA100-B100H-xxx-xxS-GxS  Hastelloy-C  Optional

 Valve Spring

 DRA100-A100S-xxx-xxS-GxS  Stainless steel 316L  Standard
 DRA100-B100H-xxx-xxS-GxS  Hastelloy-C  Optional

 Valve Seat

 DRA100-B100S-xPx-xxS-GxS  PCTFE
 DRA100-B100S-xTx-xxS-GxS  Teflon
 DRA100-B100S-xVx-xxS-GxS  Vespel

 Inlet Pressure
 Ranges

 DRA100-A100S-Hxx-xxS-GxS   3500psi(238bar)
 DRA100-A100S-Lxx-xxS-GxS   600psi(42bar)

 Outlet Pressure
 Ranges

 DRA100-x025x-xxS-xMS-GxS   25psi(1.7bar)
 DRA100-x050x-xxS-xMS-GxS   50psi(3.4bar)
 DRA100-x100x-xxS-xMS-GxS   100psi(7bar)
 DRA100-x250x-xxS-xMS-GxS   250psi(17bar)

 Operating
 Temperature

 PCTFE -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F)
 Teflon -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F)
 Vespel -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F)

 Flow Capacity

 DRA100-x100x-xxS-4MS-GxS   1/4"  Cv=0.06
 DRA100-x100x-xxO-4MS-GxS   1/4"  Cv=0.2
 DRA100-x100x-xxS-8MS-GxS   3/8"  Cv=0.2
 DRA100-x100x-xxS-2MS-GxS   1/2"  Cv=0.5
 DRA100-x100x-xxO-2MS-GxS   1/2"  Cv=1.2
 DRA100-x100x-xxS-3MS-GxS   3/4"  Cv=1.2

  Technology & Certification

 

 

각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 모델에 따라 7~180psig (0.4 ~ 12bar) 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.