상세설명
| R축 | θ축 | Z축 | |
|---|---|---|---|
| 반송속도 | 570mm/0.8sec | 180°/0.8sec | 310mm/1.2sec |
| 동작범위 | 540mm | 330° | 300mm |
| 반송대상 | Ф300mm silicon wafer 및 Maca clamp unit(질량 1kg 미만) 대응 | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 14A 이상 | ||
| 질량 | 40kg | ||
| R축 | θ축 | Z축 | |
|---|---|---|---|
| 반송속도 | 570mm/0.8sec | 180°/0.8sec | 310mm/1.2sec |
| 동작범위 | 540mm | 330° | 300mm |
| 반송대상 | Ф300mm silicon wafer 및 Maca clamp unit(질량 1kg 미만) 대응 | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 14A 이상 | ||
| 질량 | 40kg | ||