상세설명
R축 | θ축 | Z축 | |
---|---|---|---|
반송속도 | 570mm/0.8sec | 180°/0.8sec | 310mm/1.2sec |
동작범위 | 540mm | 330° | 300mm |
반송대상 | Ф300mm silicon wafer 및 Maca clamp unit(질량 1kg 미만) 대응 | ||
반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
전원/진공 | DC24V / 14A 이상 | ||
질량 | 40kg |
R축 | θ축 | Z축 | |
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반송속도 | 570mm/0.8sec | 180°/0.8sec | 310mm/1.2sec |
동작범위 | 540mm | 330° | 300mm |
반송대상 | Ф300mm silicon wafer 및 Maca clamp unit(질량 1kg 미만) 대응 | ||
반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
전원/진공 | DC24V / 14A 이상 | ||
질량 | 40kg |