상세설명
R축 | θ축 | Z축 | |
---|---|---|---|
반송속도 | 460mm/0.9sec | 180°/1.3sec | 650mm/2.0sec |
동작범위 | 460mm | 330° | 650mm |
반송대상 | Ф200mm silicon wafer | ||
반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
전원/진공 | DC24V / 600W | ||
질량 | 60kg |
R축 | θ축 | Z축 | |
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반송속도 | 460mm/0.9sec | 180°/1.3sec | 650mm/2.0sec |
동작범위 | 460mm | 330° | 650mm |
반송대상 | Ф200mm silicon wafer | ||
반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
전원/진공 | DC24V / 600W | ||
질량 | 60kg |