상세설명
| R축 | θ축 | Z축 | |
|---|---|---|---|
| 반송속도 | 460mm/0.9sec | 180°/1.3sec | 650mm/2.0sec |
| 동작범위 | 460mm | 330° | 650mm |
| 반송대상 | Ф200mm silicon wafer | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 600W | ||
| 질량 | 60kg | ||
| R축 | θ축 | Z축 | |
|---|---|---|---|
| 반송속도 | 460mm/0.9sec | 180°/1.3sec | 650mm/2.0sec |
| 동작범위 | 460mm | 330° | 650mm |
| 반송대상 | Ф200mm silicon wafer | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 600W | ||
| 질량 | 60kg | ||