상세설명
R축 | θ축 | Z축 | |
---|---|---|---|
반송속도 | 700mm/sec | 270°/sec | 270mm/sec |
동작범위 | 520mm | 330° | 310mm |
반송대상 | Ф300mm silicon wafer | ||
반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
전원/진공 | DC24V / 19A | ||
질량 | 34kg |
R축 | θ축 | Z축 | |
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반송속도 | 700mm/sec | 270°/sec | 270mm/sec |
동작범위 | 520mm | 330° | 310mm |
반송대상 | Ф300mm silicon wafer | ||
반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
전원/진공 | DC24V / 19A | ||
질량 | 34kg |