상세설명
| R축 | θ축 | Z축 | |
|---|---|---|---|
| 반송속도 | 450mm/0.8sec | 180°/0.8sec | 200mm/0.8sec |
| 동작범위 | 450mm | 330° | 200mm |
| 반송대상 | Ф200mm silicon wafer | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 300W | ||
| 질량 | 34kg | ||
| R축 | θ축 | Z축 | |
|---|---|---|---|
| 반송속도 | 450mm/0.8sec | 180°/0.8sec | 200mm/0.8sec |
| 동작범위 | 450mm | 330° | 200mm |
| 반송대상 | Ф200mm silicon wafer | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 300W | ||
| 질량 | 34kg | ||