상세설명
Performance Specifications
| Axis | X Axis (Bottom) | Y Axis (Upper) | |||
| Effective Stroke | 770 mm | 670 mm | |||
| Maximum Velocity | 1,500 mm/sec | 1,500 mm/sec | |||
| Maximum Acceleration | 1.5 G | 1.5 G | |||
| Scale Resolution | 1.0 um / count | 1.0 um / count | |||
| Position Accuracy | ± 3.0 µm (Non-Error Mapping) | ± 3.0 µm (Non-Error Mapping) | |||
| Position Repeatability | ± 1.0 µm | ± 1.0 µm | |||
| Straightness (Horizontal) of Effective Stroke |
± 3 µm | ± 3 µm | |||
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Straightness (Vertical) of Effective Stroke |
± 3 µm | ± 3 µm | ||
| Yawing of Effective Stroke |
± 5 arc-sec | ± 5 arc-sec | |||
| Pitching of Effective Stroke | ± 5 arc-sec | ± 5 arc-sec | |||
| orthogonality | ± 5 arc-sec | ||||
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장비의 안정성과 정도를 높이기 위해 석정반에 리니어 스테이지를 구성한 정밀 스테이지이다 |
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분리된 석정반에 각각의 X축과 Y축의 조합 형태로 구성된 정밀 리니어 스테이지이다. |
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정속 운전과 정밀한 위치 정밀 제어가 우수하여, 정밀 Vision 검사용 스테이지 구성이 가능하다. |
