상세설명
Performance Specifications
| Axis | X Axis (Bottom) | Y Axis (Upper) | |||
| Effective Stroke | 480 mm | 450 mm | |||
| Maximum Velocity | 800 mm/sec | 800 mm/sec | |||
| Maximum Acceleration | 0.5 G | 0.5 G | |||
| Scale Resolution | 0.2 um / count | 0.2 um / count | |||
| Position Accuracy | ± 1.0 µm (After Error Mapping) | ± 1.0 µm (After Error Mapping) | |||
| Position Repeatability | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | |||
| Straightness (Horizontal) of Effective Stroke |
± 2.5 µm | ± 2.5 µm | |||
| Straightness (Vertical) of Effective Stroke | ± 2.5 µm | ± 2.5 µm | |||
| Yawing of Effective Stroke | ± 5 arc-sec | ± 4 arc-sec | |||
| Pitching of Effective Stroke | ± 5 arc-sec | ± 4 arc-sec | |||
| orthogonality | ± 5 arc-sec | ||||
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장비의 안정성과 정도를 높이기 위해 석정반에 리니어 스테이지를 구성한 정밀 스테이지이다. |
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분리된 석정반에 각각의 X축과 Y축의 조합 형태로 구성된 정밀 리니어 스테이지이다. |
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정속 운전과 정밀한 위치 정밀 제어가 우수하여, 정밀 Vision 검사용 스테이지 구성이 가능하다. |
