상세설명
Performance Specifications
| Axis | X Axis (Bottom) | Y Axis (Upper) | |||
| Stroke | Max. 4,000 mm | Max. 1,000 mm | |||
| Maximum Velocity | 1,000 mm/sec | 1,000 mm/sec | |||
| Maximum Acceleration | 0.5 G | 0.5 G | |||
| Scale Resolution | 0.1 ~ 1.0 um / count | 0.1 ~ 1.0 um / count | |||
| Position Accuracy | ± 5 µm (Non-Error Mapping) | ± 5 µm (Non-Error Mapping) | |||
| Position Repeatability | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | |||
| Straightness (Horizontal) | ± 5 µm / 300 mm | ± 5 µm / 300 mm | |||
| Straightness (Vertical) | ± 5 µm / 300 mm | ± 5 µm / 300 mm | |||
| 적용 Motor | 86 N ~ 2400 N (Iron Core or Coreless Type Linear Motor) | ||||
| Load Capacity | 30 Kgf ~ 240 Kgf | ||||
1. Specification과 관련한 정확한 데이터는 당사와 협의해 주시기 바랍니다.
2. 고객의 요청에 의한 몇몇 품목은 Option 사항입니다.
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Profile 형태의 리니어 스테이지로 편측 / 양측 타입의 리니어 모터의 장착이 가능한 정밀 위치 제어용 스테이지이다. |
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Profile 리니어 스테이지의 특성상 단축부터 다축, 또는 Gantry 형태의 기구 구성이 가능하다. |
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장비 구성에 따라 100 mm ~ 4,000 mm의 Stroke가 가능하며, 장비 정도에 따라 최대 0.1 micron의 분해능이 가능하다. |
